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光芯薄膜 - 网站首页
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光学薄膜设计 - 光芯薄膜 (深圳)有限公司
光芯薄膜（深圳）有限公司成立于2018年11月，是一家由数名全球顶尖高校毕业的海归博士和国内知名专家共同创立，由国外知名专家担任首席科学家，专业从事先进光学和半导体镀膜设备研发、生产、制造，以及镀膜工艺研发的高科技企业。
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光芯薄膜致力于先进光学和半导体镀膜技术的研发与创新；公司注重核心零部件的自主研发以及供应链的整合，核心技术包括大尺寸RF-ICP等离子体源、基于FPGA的高速实时监控系统等、实时反馈靶电压控制系统、旋转圆柱阴极系统、全自动机械手上下料系统等。
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采用PVD方法制备介质薄膜和化合物薄膜，除了可采用射频溅射法外，还可以采用反应溅射法。即在溅射镀膜过程中，人为控制地引入某些活性反应气体，与溅射出来的靶材物质进行反应沉积在基片上，可获得不同于靶材物质的薄膜。
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